نطاق الطول الموجي
165 نانومتر ~ 900 نانومتر
تردد التذبذب
28.12 ميهيرتز
القرار
0.007 نانومتر عند 200 نانومتر
منطقة بكسل واحدة
24umx24um
رطوبة الغرفة
الرطوبة النسبية: 20-80 ٪
الأرجون النقاء
لا يقل عن 99.95 ٪
عادم الهواء
لا يقل عن 400m 3/ساعة
مزود طاقة
220V ± 10 ٪ ، مرحلة واحدة ، 50-60Hz ؛ 4KVA