ينطبق الصناعات
مصنع, R & D
فيديو الصادرة-التفتيش
المقدمة
ماكينات اختبار تقرير
المقدمة
التسويق نوع
حار المنتج 2019
الضمان من المكونات الأساسية
1 سنة
المكونات الأساسية
PLC, مضخة, RF الطاقة
نوع التنظيف
البلازما تنظيف
مواد
الإلكترونيات الضوئية ، الالكترونيات
Dimension(L*W*H)
404*640*615 مللي متر
اسم المنتج
البلازما سطح معالج
تطبيق
نظيفة ، تنشيط ، تعقيم
غرفة حجم
ضياء 210 مللي متر * 230 مللي متر
القطب
اثنين التكيف شقة أقطاب ، المواد: 6061-T6 سبائك الألومنيوم
RF الطاقة
0-200W قابل للتعديل بشكل مستمر
الغاز التحكم
2 قنوات ، إبرة الغاز تدفق صمام ، 0-300 مللي
عملية الغاز متطلبات
1/4 بوصة الطويق موصل/15 ~ 30 رطل لكل بوصة مربعة
عملية الغاز نوع
CF4 = 99.97%. 02 = 99.996%. N2 = 99.99%. Ar = 99.999%.
وضع التحكم
4.3 بوصة الصناعية شاشة التحكم باللمس
بعد خدمة الضمان
فيديو الدعم الفني, على الانترنت دعم
بعد البيع توفير خدمة
على الانترنت دعم